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aoi光学检测仪系统的自动整合技术是什么2022-02-24 19:13

aoi光学检测仪系统的自动整合技术是什么?aoi光学检测仪系统集成技术涉及关键器件、系统设计、整机集成、软件开发等方面。在aoi光学检测仪系统中,图像传感器(摄像机)、透镜、光源、采集和预处理卡、计算机(IPC、服务器)等是必不可少的设备。图象传感器通常是多种型号的CMOS/CCD相机,图象传感器、镜头、光源等组成了自动光学检测系统的感知单元,器件的选择和配置需要根据检测要求来综合设计和选型。
 
选择光源(颜色、波长、功率、照明方式等)除了其分辨率和增强特性外,还应考虑感光元件对光谱的灵敏度范围。选择透镜时要考虑视场角度、景深、分辨率等光学参数,而镜头的光学分辨率必须与传感器的空间分辨率相匹配才能实现。一般而言,透镜的光学分辨率略高于图像传感器的空间分辨率为宜,并尽可能采用黑白相机成像,提高成像分辨率。对于图像传感器(相机)采用面阵或线阵则要根据具体情况选择,选择时应考虑成像视场、空间分辨率、曝光时间、帧率、数据带宽等。
 
在运动目标检测中,要考虑到运动模糊带来的不利影响,准确计算小曝光时间,确定图像传感器的型号。图象传感器的曝光时间应小于引起运动模糊的小曝光时间,快速曝光宜选用全局快门模式,高速情况下不易采用卷帘式曝光模式;为了获得jia的信噪比,图像传感器的增益尽可能为1,图像亮度的提升尽量用不影响整体快门模式,或者在不影响成像景深的情况下,增加镜头的孔径光阑。
 
此外,还需要精心设计被测件支撑方式、精密传动定位装置等,这涉及到精密机械设计技术,这对精密加工行业,如平板显示器、硅片、半导体及MEMS行业的aoi光学检测仪自动光学检测系统具有重要意义。其中,加工工艺一般在超净间进行,这就要求自动光学检测系统具有高度自净能力,对系统部件的材料选择、气动和自动化设备的选型、运动导轨的设计和器件选型等方面都有严格的要求,不能给生产环境特别是被测工件本身带来污染。
 
特别是用于检测表面缺陷的aoi光学检测仪系统在检测过程中不能对被测件表面造成诸如灰尘、划痕、静电等缺陷。所以,对于大型零件(例如高世代液晶玻璃基底、硅片等)的在线检测,往往需要采取气浮支撑、定位和输送机构、运动部件(如轴承等)采用自润滑装置,以及FFU风机过滤机组对检测系统进行环境净化,并采取消静电装置,对工件进行防静电处理。